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  • 产品名称：真空镀膜电源/蒸发镀膜电源

    产品类别：真空镀膜电源

    产品简介：产品介绍 产品特点： 1、恒压，恒功率 2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能,具有极佳的负载匹配能力。 3、工艺重复性好。 4、提高成膜速度，实现高质量的溅射膜层。 技术参数： 输入

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产品说明

产品介绍

产品特点： 
1、恒压，恒功率 
2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有极佳的负载匹配能力。 
3、工艺重复性好。 
4、提高成膜速度， 实现高质量的溅射膜层。 
技术参数：

输入 电压 单相220V±10%
三相380V±10%
频率 50±5%Hz
功率因数 ≥0.95
输出 电压  0-3000V（电压范围可选） 0-额定电压连续可调
电流 0-40000A（电流范围可选）0-额定值电流连续可调
功率 1kW-1000kW（视电压电流而定）
波形 恒定直流
电压稳定精度 ≤1％
电源效率 ≥90%（额定工况）
操作显示 LED数码管、液晶触摸屏、PLC、计算机等
控制功能 恒压、恒流控制，换向功能（可选项）、定时功能（可选项）
保护功能 输入过、欠压，输出短路、过压，过流、内部过热等保护
可靠性及寿命 使用寿命 ≥20年
MTBF 1×104h
MTTR ≤0.5h
环境 工作温度               -10℃～50℃
存贮温度 －25℃～60℃
相对湿度 ≤90%（25℃）
综合特性 噪音 <65dB，额定工况下(1m处)
输入进线 电源背部（可选）
输出出线 电源背部（可选）
远程通讯接口 数字RS232/485通讯或模拟量控制(0-10V或4-20ma)（可选）
冷却方式 风冷或水冷（可选）

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联系方式
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