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大功率脉冲偏压电源

特点：单极性大功率脉冲偏压电源是在直流偏压电源基础上增加单极性正向脉冲形成电路组合而成，除具有直流偏压电源优点外还具有明显减少工件打火现象，使工作镀层更光洁平整。通过调节脉冲频率和脉冲占空比，可控制成膜温度，增加膜基结合力，提高沉积速率。根据需要可升级为数字电源，并设有本地/远程控制功能和控制接口

技术指标：

1. 交流输入：单相220VAC，三相380VAC任选

2. 功率因数：≥0.99（小功率）、≥0.92（大功率）

3. 效率：≥0.86

4. 输出波形：直流、单极性正负向脉冲

5. 输出电流：0～400A 分10种规格：1KW、2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、

70KW、100KW、200KW

6. 输出电压：25V～2000V 连续可调

7. 输出频率：定频，20KHz～200KHz任选，调频，2KHz～40KHz

8. 输出占空比：5～90%独立连续可调

9. 工作方式：恒流、恒压、恒功率任选

10. 稳压精度：≤1%

11. 环境温度：-10℃～40℃

12. 冷却方式：风冷、水冷