脉冲磁控溅射电源（单脉冲/换向脉冲/独立双脉冲_大功率直流稳压电源|可调直流稳压恒流电源|高频开关电源|程控|脉冲|高压

脉冲直流电源当前位置：主页 > 产品中心 > 脉冲直流电源 >

产品名称：脉冲磁控溅射电源（单脉冲/换向脉冲/独立双脉冲
产品类别：脉冲直流电源

产品简介：非对称式双极正负脉冲磁控溅射电源特点：由两台分别可调脉冲电源有机结合而成，因此其正负脉冲的幅值、频率、占空比均可独立连续可调整，有五种工作方式： ①正向直流工作或

 0

产品说明

非对称式双极正负脉冲磁控溅射电源

特点：由两台分别可调脉冲电源有机结合而成，因此其正负脉冲的幅值、频率、占空比均可独立连续可调整，有五种工作方式：
①正向直流工作或是改变极性负向工作；
②连续正向脉冲输出；
③连续负向脉冲输出；
④ 连续对称双极正负脉冲输出；
⑤非对称双极正负脉冲输出其频率、占空比、幅值均能连续可调。这种电源可单靶或双靶工作，双靶工作时，两个靶的材料和尺寸都可以不同，每个靶的溅射电流可分别设定；单靶工作时也可减少电荷积累引起的异常放电，适合于镀制碳化物、氧化物、氮化物等膜层，双靶运用可方便控制成份比。

技术指标：

1. 交流输入：单相220VAC、三相380VAC

2. 功率因数：≥0.99（小功率电源） ≥0.92（大功率电源）

3. 效率：≥0.82

4. 输出空载电压：≥±600V

5. 输出工作电压：0～±500V连续可调

6. 输出电流：1A～160A，分10种规格：1KW、2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、75KW、100 KW、200KW

7. 工作方式：恒流、恒压、恒功率任选

8. 运行模式：二象限、四象限

9. 输出频率：3KHz～40KHz 连续可调

10. 占空比：5～90%分别连续可调

11. 输出波形：单极正向直流、负向直流、正向脉冲、负向脉冲、对称双极正负脉冲、非对称双极脉冲

12. 稳流精度：≤1%

13. 环境温度：-10℃～40℃

14. 冷却方式：风冷、水冷

供货周期： 1～3个月

产品说明

相关产品